Оператор плазмохимических процессов (4-й разряд) по ЕТКС 2020 и 2021
Ни дня без инструкций
Поиск
Ни дня без инструкций
ЕТКС

Профессия Оператор плазмохимических процессов (4-й разряд) в Едином Тарифно Квалификационном Справочнике

§ 25. Оператор плазмохимических процессов 4-й разряд

Характеристика работ.

Ведение процесса травления полупроводниковых материалов, снятия фоторезиста, высаживания двуокиси кремния на различных типах плазмохимического оборудования. Ионно-плазменное нанесение пленок Fe2O3. Загрузка и выгрузка пластин кремния, стеклопластик, жидкокристаллических индикаторов. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов плазмохимической обработки по контрольным измерениям. Регистрация и поддержание режимов плазмохимической обработки с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Контроль толщины нанесенной пленки, замер линейных размеров элементов микросхем с помощью микроскопа. Определение качества обработки пластин с помощью микроскопа и измерительных приборов.

Что должен знать:

  • устройство плазмохимических установок различных моделей, принцип их действия
  • кинематику, электрические и вакуумные схемы
  • правила настройки на точность обслуживаемого оборудования, устройство, назначение и применение контрольно-измерительных приборов и инструментов
  • назначение процесса откачки и роль плазмообразующих сред в процессе обработки пластин
  • способы и методы контроля степени вакуума
  • основные свойства и характеристики плазмообразующих сред
  • основы процесса плазмохимического травления
  • оценку стойкости фоторезистивных масок к воздействию газоразрядной плазмы
  • основные законы электротехники и вакуумной техники.

Примеры работ

  1. Кремниевые пластины - плазмохимическое высаживание SiO2 путем разложения и взаимодействия моносилана с кислородом в плазме высокочастотного разряда, определение толщины пленки SiO2 после нанесения по таблицам цветности.
  2. Мезо-структуры с фоторезистом - ионно-плазменное напыление диэлектрических пленок.
  3. Пластины - удаление фоторезиста на плазмохимических установках.
  4. Пластины кремния - плазмохимическое травление двуокиси кремния, лежащего на алюминии.
  5. Стеклопластины - ионно-плазменное нанесение Fe2O
  6. Индикаторы жидкокристаллические - удаление полиамида на плазмохимических установках.

Задавайте вопросы, и мы дополним статью ответами и пояснениями!
Поделитесь с друзьями: