§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов 3-й разряд
Характеристика работ.
Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.
Что должен знать:
- устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования
- устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов
- назначение процесса откачки
- режимы испарения и осаждения распыляемого материала
- способы и методы контроля степени вакуума
- основные свойства и характеристики испаряемых материалов
- основные законы электротехники и вакуумной техники.
Примеры работ
- Кристаллические элементы кварцевых резонаторов - напыление.
- Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.
- Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.
- Резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску.
